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为了简化制作工艺,使温度分布均匀以及降低功耗,设计了一种基于MEMS制造工艺的悬臂共面式SnO2气体传感器.使用有限元法对这种传感器及膜结构堆积于硅基底上的封闭膜式气体传感器进行了稳态热分析,结果表明悬臂共面式传感器拥有更均匀的温度分布和更低的功耗.当最高温度为383℃时功耗仅为7mW,敏感薄膜上的温差低于14℃.为解决悬臂易碎的问题,提出了一种新的制造工艺,该过程在正面刻蚀SiO2层形成悬臂结构前沉积SnO2敏感薄膜,并采用深反应离子刻蚀的方法对硅基底进行体刻以避免湿法刻蚀对传感器表面的化学污染.整个过程总共需要4块掩模板.采用旋涂法溶胶凝胶法将掺有Fe离子的SnO2薄膜沉积于基底上作为敏感元件.该器件对氢气表现出了良好的气敏性能,随着氢气浓度从50×10-6上升到2000×10-6,灵敏度逐渐提高,在2000×10-6时的灵敏度为30. 相似文献
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侯长平 《淮南师范学院学报》2006,8(3):19-21
文章综述了近年来国际上SnO2薄膜气体传感器在制备方法与性能修饰方面研究的新进展。对于各种SnO2薄膜气体传感器的制备方法总结了其优缺点,并对各种修饰、改善SnO2薄膜气体传感器性能的方法进行了归纳。SnO2薄膜气体传感器的制备与性能修饰、改进是下一步发展方向的基础。期望通过这一简单、浅略的综述,能使读者对近年来SnO2薄膜气体传感器基础研究方向的发展有所了解。 相似文献
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《实验室研究与探索》2017,(4):52-55
设计了基于纳米修饰石墨烯的湿敏传感器呼吸检测装置,并对其电容湿度传感器的湿敏特性及呼吸特性进行测试分析。采用自组装方法制备氧化锌修饰氧化石墨烯薄膜湿度传感器,采用电子扫描电镜对其形貌进行表征,基于555多谐振荡器和STM32单片机构筑了一种柔性薄膜型呼吸检测装置,并对其性能进行了测试。实验结果表明,该呼吸检测装置具有高灵敏度及优良的响应与恢复特性,并且经蓝牙同手机通信可实时显示呼吸频率,展示了较好的呼吸检测效果。 相似文献
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早期的传感器实验系统一般采用台式结构,将固定的十几种传感器、共用的信号调理电路置于箱体内部,结合PC机进行传感器应用的验证性实验.随着电子技术的发展,人们对传感器实验系统需求也发生了较大的变化.特别是在传感器应用教学方面,老师希望能让学生看到传感器的实物和辅助电路及信号调理板电路原理、电路板相应器件的用法和关键信号测量点.传感器和信号调理部分、单片机、键盘、显示器结合起来的测量控制系统以及传感器和信号调理板、PC机、图控软件结合起来的测量控制系统通过RS-485总线、或其它总线方式,利用光纤、导线或其它媒介联网的测量控制系统.对传感器试验系统提出了较高的要求.北斗星公司针对目前的教学需求开发出了BDSE-1A传感器综合实验系统. 相似文献
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《河南职业技术师范学院学报(职业教育版)》2016,(2)
设计了基于Zigbee芯片CC2530的无线养殖监控系统.系统由传感器、传感器节点、协调器节点、监控计算机等组成.传感器节点接收并处理来自传感器的数据,本地显示或传送给协调器节点.监控计算机采用组态软件K ingview 6.5完成人机交互界面编程,实时显示环境参数及设备状态,下达控制命令,参数高低报警等功能.实验室测试系统能够满足系统要求,可用于养殖行业监控. 相似文献
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《鞍山师范学院学报》1998,(2)
8031单片微机红外幅射温度计是采用薄膜热电堆和光学镜头组成传感器来测量低温物体的幅射温度.并利用单片机进行数据的采集、运算处理并输出.程序采用高级语言和汇编语言结合进行编写,解决了仪表中的非线性补偿、温度补偿、黑度系数修正等问题,就硬、软件设计中的关键技术作了详细的介绍. 相似文献
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本文首先简要介绍车型分类原理及其目前的一些研究动态,然后比较各种车型分类原理的优缺点和可行性,最后提出了一种比较先进实用的车型分类检测的方法,即通过采用红外线检测、压电薄膜轴传感器检测和视频图像检测这三大关键技术,能够较好地在动态称重系统中实现车型分类。 相似文献
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为了解决传统体育体能监测系统无法动态性和综合性数据采集监测问题,设计了多传感运动数据采集与监测系统。该系统主要通过感知层、数据采集层和数据融合层,完成体能指标的采集、传输和分析。系统硬件架构主要通过O2传感器、CO2传感器、压电薄膜传感器和视频监控传感器实现数据的采集,完成二级体能指标核心数据的记录。系统软件架构主要通过数据库、管理子系统、应用子系统和传感感知,完成指令控制和数据分析监测。测试结果表明,该体能指标采集监测系统的特征分布值0.01相似文献
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传感器动态响应实验的课堂实现 总被引：2，自引：1，他引：1
为了解决传感器动态实验的困难,提高"传感器与检测技术"课程的教学质量,采用数字信号处理器,研制传感器动态校正系统.根据现场采集的动态实验数据,基于普通实验室具备的信号发生器和示波器,将动态响应再现,送入传感器动态校正系统,进行动态补偿,实现了在课堂上进行动态响应和补偿实验. 相似文献
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氧化锌是一种宽禁带的半导体材料,它在太阳能电池、气体传感器等各种光电子器件中有广泛的应用前景.本文用溶胶-凝胶法制备ZnO溶胶,再甩膜在石英基片上,最后经微波加热而获得ZnO薄膜.分别用原子力显微镜、分光光度计和荧光谱仪研究不同厚度薄膜的表面形貌和光学性质.实验结果表明:制备薄膜随着薄膜厚度的增加,薄膜的生长模式由层状生长向岛状生长转变;所有薄膜在可见光范国内的透射率都超过65%;样品发光特性良好. 相似文献
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用基于密度泛函理论的第一性原理方法研究了在A lS b （110）衬底表面外延生长1～6层Bi薄膜的能带结构,计算了它们的带隙。研究发现,不同厚度的Bi薄膜显示出传导性质的奇偶振荡,1层和3层显示出非金属性质,2层和4层及更高的层数转变为金属性质。 相似文献
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基于CCD图像传感器的尺寸测量仪设计与实现 总被引：1，自引：0，他引：1
李晓云 《连云港师范高等专科学校学报》2010,27(4)
CCD图像传感器具有灵敏度高、结构紧凑、像素位置准确、自扫描、容易实现与单片机或计算机的智能化接口等一系列优点,成为光学方法测量仪装置中首选的光电接收传感器.该系统采用CCD作为测量用传感器,用单片机系统作数据采集和处理,实现了非接触测量系统的整体设计方案.确定了光学成像物镜参数和调焦机构,设计实现了CCD输出信号的前置处理电路及单片机硬件结构,测量软件采用汇编语言编写,采取了软件定标和数字滤波等措施提高测量精度,满足了管材工件尺寸实时测量要求. 相似文献
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采用烟雾传感器、CO气体传感器和温度传感器构成复合型传感器,将信号处理算法软件设置在该传感器的微处理器内.神经网络智能算法对各传感器采集的信号进行“智能化”处理,由此尽可能地降低火灾自动报警系统的误报率和漏检率,提高其可靠性和可信度. 相似文献
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非确定环境下移动机器人多传感器系统及信息处理 总被引：3，自引：0，他引：3
PBJ- 01是一类移动机器人, 它的6个轮子和2个摆臂能够帮助机器人适应多种地形. 机器人上装有一个复杂的传感器系统, 包括超声波传感器、触觉传感器、视觉传感器等. PBJ-01采用基于行为的控制体系机构, 其关键部分是基于模糊神经网络的障碍识别系统. 仿真证明该系统能够从传感器的感知数据而识别出障碍类型, 从而帮助机器人在越障行为和避障行为之间进行抉择. 相似文献
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建立了一个自发气调包装(MAP)系统的气体交换动力学模型,运用计算机模拟预测包装内气体质量浓度,并以上海市特产"锦绣黄桃"为研究对象,采用2种包装薄膜,在5,15和25 ℃下进行了实验验证,实验结果证明了模拟计算结果的正确性.同时还建立了Michaelis-Menten型呼吸速率模型,该模型将CO2看作O2的非竞争性抑制剂.呼吸速率测定采用改进的渗透系统法,该方法既适用于平衡状态,也适用于非平衡状态.应用气体交换模型对装有黄桃的MAP系统进行了设计计算,给出了薄膜特性和包装内O2和CO2的平衡浓度. 相似文献
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《赤峰学院学报(自然科学版)》2017,(20)
采用磁控溅射技术在(001)取向LaAlO_3单晶衬底上制备了La_(0.7)Ba_(0.3)MnO_3外延薄膜.利用x射线衍射对其外延性质进行了表征.系统研究了退火气氛对薄膜磁输运行为的影响.结果表明,无论Ar气氛退火还是O_2气氛退火,薄膜的电阻-温度曲线均表现出金属-绝缘体转变行为,且转变温度随着外界磁场的增加向高温方向移动.同时,Ar气氛退火薄膜的磁阻效应加强,而O_2气氛退火薄膜则呈现典型的磁阻效应,即低温磁阻率很小,在较小的外场下就会饱和.这一差异可以看作Ar退火薄膜内部存在相分离的佐证,外场下较大的磁阻率由两种机制贡献. 相似文献