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《实验室研究与探索》2020,(6)
为了研究氮化镓刻蚀倾角、选择性和形貌与刻蚀参数之间的关系,对氮化镓的干法刻蚀工艺进行了优化。通过研究不同掩膜种类下的选择比、刻蚀形貌,记录了自偏压,测量了刻蚀速率。通过改变包括气体流量、不同气体比例、射频功率、温度、自偏压等干法刻蚀工艺参数,研究了倾斜侧壁氮化镓的刻蚀工艺。结果表明,采用氯基气体可以对氮化镓材料进行刻蚀,刻蚀侧壁及底部形貌光滑;采用氧化硅做掩膜可以获得垂直的侧壁形貌;增大钝化气体比例可以获得倾斜侧壁的氮化镓刻蚀形貌。 相似文献
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干法刻蚀中高能量等离子体轰击将不可避免地在氮化镓材料表面引起损伤,这些表面损伤可能会严重影响氮化镓(GaN)材料质量和器件的性能。本文研究了干法刻蚀对GaN晶体表面粗糙度、光学特性和电学性能影响,同时分析了刻蚀损伤的回复方法,并给出了相应机理解释。 相似文献
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国思茗 《江西电力职业技术学院学报》2021,34(4):19-21
主要对氮化镓激光材料检测技术和光电能转换技术进行研究,通过对氮化镓激光材料的电流光转换效率特性和电光热交叉耦合特性的研究,寻找适用于工业化检测氮化镓激光材料的自动化快速检测技术,同时,在检测过程中尽可能降低电能消耗.最终确定了简化检测流程,使用批量化检测实现检测速度的提高,利用微结构光纤降低检测过程的损耗,利用光电能转换技术实现检测中光能的回收利用以达到研究目的. 相似文献
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陈健生 《中学生(作文版)》2006,(4)
氮化镓是一种重要的光电半导体材料,属“宽”能隙半导体材料,其能隙为3．4电子伏特。这种物质可传送光线而不会将能量以热的形式浪费掉;它可把手机信号扩大10倍,让电脑的速度提高1万倍;它可将阳光引 相似文献
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郑宇 《第二课堂(小学)》2005,(Z2)
四年前,氮化镓还只是一种奇异的东西,现在,大家都想分得一块。剑桥大学的科林·汉弗莱斯拥有21世纪的“魔法石”:这种物质可把普通金属变成金子,或者说金钱;它可传送 相似文献
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1999年3月底,备受瞩目的首届"长江学者成就奖"颁奖大会在人民大会堂隆重举行,清华大学物理系范守善教授荣获该奖的二等奖,同另两位一等奖得主一起走向领奖台。在这之前的1998年,范守善教授基于他1997年在国际上首次制备出氮化镓一维纳米晶体,并提出了碳纳米管限制反应的概念,在由587位中国科学院院士和工程院院士投票评选的"98中国十大科技进展"中榜上有名。之后,他的研究成果又相继人选教育部科学技术委员会评出的"98中国高等学校十大科技进展"和科技部评出的"98中国基础科学研究十大新闻"。（一）人对物质世界的认识可以分为两个层… 相似文献
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董世和 《无锡教育学院学报》2001,(3)
本文解决了下述二个问题 :1.亚纯函数 F (z) =M(z) ex P(ez N (z) ) ,其中 M(z)为非常数有理函数 ,N (z)为多项式 ,则当 M(z)≠ [q(z) ]n,|n|≥ 2时 ,F(z)为素的 ;2 .亚纯函数 F(z) ,满足 F′(z) =P(z) ex P(ez Q(z) ) ,若 P(z)为非常数多项式 ,Q(z)为多项式或 P(z)为常数 ,Q(z)为非线性多项式 ,则 F(z)也是素的。 相似文献
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王姗 《数理化学习(高中版)》2004,(18)
1.已知函数f(x)为偶函数,则下式成立的为() (A)f(二 a)=f(一x a) (B)f(x a)=f(一:一a) 2.已知函数f(x a)为偶函数,则下式成立的为() (A)f(x a)=f(一二 a) (B)f(x a)=f(一x一a) 3.已知定义域为R的函数f(x)的图象的对称轴为直线二=1,则函数f(x l)的图象的对称轴为直线_. 4,已知定 相似文献
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眭锡坤 《苏州教育学院学报》1988,(1)
如所周知,若矩阵A=(aij)m×n的元素a_(ij)(i=1a……m;j=1、2……n)是文字λ的多项式,则称A为λ-矩阵或多项式矩阵,记作A(λ)。 如果三个λ-矩阵满足关系式A(λ)=H(λ)G(λ),称G(λ)为A(λ)的右因子,称A(λ)为G(λ)的左倍式,相应地称H(λ)为A(λ)的左因子,A(λ)为H(λ)的右倍式。若D(λ)既是A(λ)的右因子,又是B(λ)的右因子,则称D(λ)为A(λ)和B(λ)的一个右公因子。若T(λ)是A(λ)和B(λ)的一个右(左)公因子,且T(λ)是A(λ)和B(λ)的任意右(左)公因子的左(右)倍式,则T(λ)为A(λ) 相似文献
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杨凌 《苏州教育学院学报》1994,(1)
通常,若f(r)为开平面上亚纯函数,a为任一复数,若f(r)-a没有零点,则称a为f(r)的Picard例外值。由Picard定理可知,任一超越整函数取任意有穷复数无穷多次,至多有一个例外值。所以超越整函数至多有一个Picard例外值。以下作一推广: 定义:若T(r,g(r))=0{T(r,f(r))},且f(r)-g(r)只有有限多个零点,则称g(r)为f(r)的Picard例外函数,其中f(r)为超越整函数,g(r)为整函数。 对Picard例外函数,有 性质1:f(r)为一超越整函数,则f(r)的Picard例外函数至多有一个。 以上性质的证明,完全依赖于以下一个定理: 相似文献
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王家录 《安徽师范大学学报(人文社会科学版)》1984,(1):95-99
一般认为,古汉语的“为之名”式是动宾结构,或谓“为(动)·之(间宾)·名(直宾)”式,或谓“为(动)·之(其,定)·名(宾)”式。但是,“为之名”式也有可能是状谓结构,即“为(介)·之(介宾)·名(动宾或动)”式。“为之名”式是否可能是状谓结构,这要取决于以下两点:一,“为之”是不是介词结构。二,名词连接在介词结构(状语)之后能不能用作或兼作动词。 相似文献
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一、选择题(1—10题每题4分,11—15题每题5分,共65分)1．一个等差数列共有10项,其中奇数项的和为25/2,偶数项的和为15,则此数列第6项为()。(A)3 (B)4 (C)5 (D)62．一等差数列共有3n项,其前n项和为a,次n项和为b,则前3n项和为()。(A)a 2b (B)2a b(C)3b (D)2b 相似文献
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本文主要得到下面定理: 设f(z)是亚纯函数,级λ<∞,S(∞,f)=1,若Σδ(P(z),f)=1 (1) P(z)为次数≤d的多项式,则有: (i)δ(o,f(k))=1,δ(∞,f(k))=1 其中k为大于d的任意整数。 (ii)f的级λ为正整数,f为正则增长。 相似文献