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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 13 毫秒
1.
1纳米是一根头发丝的8万分之一,而小于1纳米则被称为亚纳米——这是国防科大精密工程创新团队在超精密光学零件加工中创造的"中国精度",有力支撑了"极大规模集成电路制造装备与成套工艺"等3个国家重大科技专项创新突破,3年来为国家创造直接经济效益2亿多元。近日,该校研制两种超精抛光装备通过国家重大科技专项验收。  相似文献   

2.
刘前,国家纳米科学中心科技管理部主任、研究员(教授、博导),中科院研究生院和南开大学兼职教授。代表性工作为:研究获得5个纳米台阶国家一级标准物质;利用Super—P.ENS技术在405激光系统下获得最小记录点小于80纳米,为我国超高密度光存储探索了一条可行的技术路径;研制成功拥有全部知识产权的新概念超分辨无掩膜纳米光刻机系统,最小打孔直径可达50纳米;建立了一种可大面积实现、可设计、可套刻,工艺简单和加工成本低的新型微纳加工方法;研制成功的金属掩模制造新方法获得了美、日、中发明专利,打破了国际专利垄断;研制成功了具有正交网格结构的热电薄膜材料等。  相似文献   

3.
《科学中国人》2009,(5):39-39
“陈创天的实验室是世界上唯一一个能够研制这种晶体的实验室。”《自然》杂志报道了中国科学院理化技术研究所陈创天院士率领的团队发现了一种最新的光学晶体氟代硼镀酸钾(KBBF晶体)。KBBF能够缩短激光波长.装备该晶体的各种激光器能发出具有极窄频宽的紫外光波,可测量固体电子能级的分辨率达到360微电子伏特;并可用于建造超高分变率光电子能谱仪,以便对超导材料的电子特性进行前所未有的精确测量。此光源还可用于光刻技术等前沿科学和技术研究。在未来对微纳米加工、生物医学等都将发挥不可替代的作用。美国的科学家形容KBBF“这真是一块完美的晶体呀”。  相似文献   

4.
精密事业     
光刻机的研制能力,不但反映出一个国家的科技实力,也代表了一个国家的精密制造水平。国外业界曾认为,中国人现在不能、未来也不可能造出如此高精密超复杂的光刻机设备。然而,就是这么一个被公认为"太复杂"而不可能被中国解决的科技难题,却被清华大学朱煜教授带领的团队攻克了。  相似文献   

5.
集成光子学是通过研究与利用光电子学和微电子学原理,依托芯片集成纳米制造技术,开发芯片化集成光子/光电子器件的学科.该学科在光刻、通信激光雷达量子计算与传感等领域有广泛的应用,也是当前我国急需发展的"卡脖子"学科.  相似文献   

6.
向地球更深处寻找矿物资源。22日,中信重工承担的973计划"超深井大型提升装备设计制造及安全运行的基础研究"项目启动。  相似文献   

7.
甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器是高端装备制造与前沿研究领域的重大核心技术基础.一方面,作为高端装备中不可替代的核心单元,直接决定了装备能达到的极限运动精度与整体性能;另一方面,作为国家/国防溯源精度最高的长度计量测试仪器,可以准确统一全国相关量值,并支撑国际单位制量子化变革等前沿研究.以国际先进微电子装备为例,其内部通常需嵌入包含20个以上测量轴的高速超精密激光干涉测量仪器,以实时测量米/秒级高速运动台的位置,测量精度要求已达到数纳米,并将进一步突破至亚纳米量级.世界科技强国十分重视甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器的开发和应用,我国由于一直未能掌握该类技术,高端装备制造等领域的相关技术研究长期受制于人.  相似文献   

8.
光电技术     
《科学中国人》2023,(8):15-15
通过增强荧光涨落检测实现高通量超分辨率成像哈尔滨工业大学仪器学院李浩宇团队在生物医学超分辨显微成像技术领域取得新进展。相关成果发表于《自然·光子学》(Nature Photonics)。针对目前超分辨显微镜所面临的成像通量限制,文章提出基于计算光学成像的新一代高通量三维动态超分辨率成像方法,通过计算成像技术增强荧光涨落探测灵敏度,使探测灵敏度提升两个数量级以上,突破了现有显微成像技术在高通量视场、高空间分辨率和高时间分辨率等难以兼顾的难题,将目前全球超分辨显微镜中最高通量视场成像范围提升至毫米级,在10分钟内,让包含超过2000个细胞的视场上实现了128纳米的超高空间分辨率成像,为细胞学异质性和生物医学等研究提供了新影像仪器。  相似文献   

9.
“2000m地质岩心钻探关键技术与装备”是国家高技术研究发展计划(863计划)重点项目课题,该项目于2007年12月立项,2011年10月28日通过专家验收,项目由中国地质科学院勘探技术研究所主持、中国地质装备总公司、中国地质大学(武汉)、北京探矿工程研究所、中国地质科学院探矿工艺研究所、吉林大学参加完成,项目负责人为中国地质科学院勘探技术研究所教授级高工张金昌。项目包括9个子课题,分别为2000m全液压岩心钻机研制,2000m岩心钻机配套泥浆泵研制,  相似文献   

10.
《大众科技》2009,(1):4
近期,中国科学院科研装备研制项目“空间摩擦学研究系统的研制”在中科院兰州化学物理研究所通过了验收评审。验收专家组认为,该项目研制出了具备超高真空、交变温度和辐照(包括原子氧、紫外光、等离子体、质子和电子等)环境以及球盘摩擦试验功能的空间摩擦学实验系统,达到了规定的各项技术指标,完成了预定的研制目标。  相似文献   

11.
《大众科技》2009,(11):9-10
据澳大利亚莫纳什大学网站报道,澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子柬曝光系统(EBL)。该系统可标记纳米级的物体,还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。  相似文献   

12.
在科技部的组织下,国家科技支撑计划项目"500kV以上超高压高强度盘形悬式瓷绝缘子产业化关键装备技术研发",日前在贵阳顺利通过了项目验收。据介绍,该项目是新中国成立以来贵州省承担的第一个重大装备类国家科技支撑计划。  相似文献   

13.
正在日常生活中,超高像素的相机已经十分常见,甚至手机都能拍摄非常清晰的照片。但在科研领域,想拍个超短激光脉冲或者植物的光合作用?对不起,家用相机已经无能为力,科学家只能求助于高端科学仪器。5月22日,由中科院西安光学与精密机械研究所(下称"西安光机所")承担的国家重大科研装备研制项目"高性能条纹相机的研制"通过专家组验收,这标志着我国具有自主知识产权的高性能条纹相机进入实用化水平。  相似文献   

14.
"全海深潜水器声学技术研究与装备研制"项目属于"十三五"国家重点研发计划"深海关键技术与装备"重点专项,项目重点开展全海深载人/无人潜水器水声通信、声学探测等技术研究与装备研制.中国科学院声学研究所在"蛟龙"号、"深海勇士"号载人潜水器声学系统研制成功的基础上,2020年完成全海深载人潜水器("奋斗者"号)声学系统中全海深水声通信机、水声电话、测深侧扫声纳、多波束前视成像声纳、多普勒测速仪、避碰声纳的自主研发以及定位声纳(哈尔滨工程大学研制)和惯性导航设备(北京自动化控制设备研究所)的系统集成,实现潜水器万米深度下水声通信、定位导航以及精细探测.  相似文献   

15.
"全海深潜水器声学技术研究与装备研制"项目属于"十三五"国家重点研发计划"深海关键技术与装备"重点专项,项目重点开展全海深载人/无人潜水器水声通信、声学探测等技术研究与装备研制.中国科学院声学研究所在"蛟龙"号、"深海勇士"号载人潜水器声学系统研制成功的基础上,2020年完成全海深载人潜水器("奋斗者"号)声学系统中全海深水声通信机、水声电话、测深侧扫声纳、多波束前视成像声纳、多普勒测速仪、避碰声纳的自主研发以及定位声纳(哈尔滨工程大学研制)和惯性导航设备(北京自动化控制设备研究所)的系统集成,实现潜水器万米深度下水声通信、定位导航以及精细探测.  相似文献   

16.
《中国科学院院刊》2010,(5):564-564
由广州能源所李小森研究员主持的中科院重大科研装备研制项目——“天然气水合物开采综合模拟实验系统”于5月27日通过了中科院计划财务局组织的现场验收。专家组一致认为,该项目的各项技术指标及研制内容均已达到或超额完成,该实验系统属原创性成果,处于国际领先水平,同意通过验收。  相似文献   

17.
"全海深潜水器声学技术研究与装备研制"项目属于"十三五"国家重点研发计划"深海关键技术与装备"重点专项,项目重点开展全海深载人/无人潜水器水声通信、声学探测等技术研究与装备研制.中国科学院声学研究所在"蛟龙"号、"深海勇士"号载人潜水器声学系统研制成功的基础上,2020年完成全海深载人潜水器("奋斗者"号)声学系统中全海深水声通信机、水声电话、测深侧扫声纳、多波束前视成像声纳、多普勒测速仪、避碰声纳的自主研发以及定位声纳(哈尔滨工程大学研制)和惯性导航设备(北京自动化控制设备研究所)的系统集成,实现潜水器万米深度下水声通信、定位导航以及精细探测.  相似文献   

18.
《科技成果管理与研究》2013,(10):F0002-F0002,I0001
2013年9月6日,由中科院理化所承担的国家重大科研装备研制项目“深紫外固态激光源前沿装备研制项目,,在北京正式通过国家验收。  相似文献   

19.
崔强 《科技风》2012,(2):47-48
光刻机是生产芯片的机器,它将掩模板上的电路图形通过光源(激光或汞灯)的照射,掩模板上透光和不透光的部分就在涂有光刻胶的硅片上形成了电路图形。曝光分系统是光刻机的重要的组成部分,它包括光源(激光或汞灯),反射镜组,中继透镜组,积分棒,耦合透镜组,可变衰减器、快门、能量探测器、能量点传感器、投影物镜。光刻机工作原理和照相机有很多相似之处,但是比照相机要复杂的多。就曝光分系统而言,可变衰器相当于光圈;快门相当于相机的快门;能量探测器相当于相机的测光系统;投影物镜相当于镜头;反射镜组、中继透镜组、积分棒、耦合透镜组相当于相机的取景器。照相机要想拍出好照片必须对镜头进入的光进行控制,同样,曝光分系统要想满足在硅片曝光出电路的需要,必须对光源的照度和剂量、视场大小和中心位置、光源的照明均匀性按照生产指标进行控制,这时候就需要对曝光分系统进行测较。  相似文献   

20.
国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的无掩膜光刻机近期在合肥面世。由中国工程院院士张钟华、叶声华等专家组成的鉴定组在鉴定后认为,芯硕半导体(中国)有限公司的"光刻机"技术,填补了国内光刻机在该项领域的空白,并且在国际同类产品中处于先进水平。  相似文献   

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