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刘前,国家纳米科学中心科技管理部主任、研究员(教授、博导),中科院研究生院和南开大学兼职教授。代表性工作为:研究获得5个纳米台阶国家一级标准物质;利用Super—P.ENS技术在405激光系统下获得最小记录点小于80纳米,为我国超高密度光存储探索了一条可行的技术路径;研制成功拥有全部知识产权的新概念超分辨无掩膜纳米光刻机系统,最小打孔直径可达50纳米;建立了一种可大面积实现、可设计、可套刻,工艺简单和加工成本低的新型微纳加工方法;研制成功的金属掩模制造新方法获得了美、日、中发明专利,打破了国际专利垄断;研制成功了具有正交网格结构的热电薄膜材料等。 相似文献
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段嘉龙 《科技成果管理与研究》2021,16(8):1-3
集成光子学是通过研究与利用光电子学和微电子学原理,依托芯片集成纳米制造技术,开发芯片化集成光子/光电子器件的学科.该学科在光刻、通信激光雷达量子计算与传感等领域有广泛的应用,也是当前我国急需发展的"卡脖子"学科. 相似文献
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向地球更深处寻找矿物资源。22日,中信重工承担的973计划"超深井大型提升装备设计制造及安全运行的基础研究"项目启动。 相似文献
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甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器是高端装备制造与前沿研究领域的重大核心技术基础.一方面,作为高端装备中不可替代的核心单元,直接决定了装备能达到的极限运动精度与整体性能;另一方面,作为国家/国防溯源精度最高的长度计量测试仪器,可以准确统一全国相关量值,并支撑国际单位制量子化变革等前沿研究.以国际先进微电子装备为例,其内部通常需嵌入包含20个以上测量轴的高速超精密激光干涉测量仪器,以实时测量米/秒级高速运动台的位置,测量精度要求已达到数纳米,并将进一步突破至亚纳米量级.世界科技强国十分重视甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器的开发和应用,我国由于一直未能掌握该类技术,高端装备制造等领域的相关技术研究长期受制于人. 相似文献
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《科学中国人》2023,(8):15-15
通过增强荧光涨落检测实现高通量超分辨率成像哈尔滨工业大学仪器学院李浩宇团队在生物医学超分辨显微成像技术领域取得新进展。相关成果发表于《自然·光子学》(Nature Photonics)。针对目前超分辨显微镜所面临的成像通量限制,文章提出基于计算光学成像的新一代高通量三维动态超分辨率成像方法,通过计算成像技术增强荧光涨落探测灵敏度,使探测灵敏度提升两个数量级以上,突破了现有显微成像技术在高通量视场、高空间分辨率和高时间分辨率等难以兼顾的难题,将目前全球超分辨显微镜中最高通量视场成像范围提升至毫米级,在10分钟内,让包含超过2000个细胞的视场上实现了128纳米的超高空间分辨率成像,为细胞学异质性和生物医学等研究提供了新影像仪器。 相似文献
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刘芳霞 《科技成果管理与研究》2013,(9):78-81
“2000m地质岩心钻探关键技术与装备”是国家高技术研究发展计划(863计划)重点项目课题,该项目于2007年12月立项,2011年10月28日通过专家验收,项目由中国地质科学院勘探技术研究所主持、中国地质装备总公司、中国地质大学(武汉)、北京探矿工程研究所、中国地质科学院探矿工艺研究所、吉林大学参加完成,项目负责人为中国地质科学院勘探技术研究所教授级高工张金昌。项目包括9个子课题,分别为2000m全液压岩心钻机研制,2000m岩心钻机配套泥浆泵研制, 相似文献
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"全海深潜水器声学技术研究与装备研制"项目属于"十三五"国家重点研发计划"深海关键技术与装备"重点专项,项目重点开展全海深载人/无人潜水器水声通信、声学探测等技术研究与装备研制.中国科学院声学研究所在"蛟龙"号、"深海勇士"号载人潜水器声学系统研制成功的基础上,2020年完成全海深载人潜水器("奋斗者"号)声学系统中全海深水声通信机、水声电话、测深侧扫声纳、多波束前视成像声纳、多普勒测速仪、避碰声纳的自主研发以及定位声纳(哈尔滨工程大学研制)和惯性导航设备(北京自动化控制设备研究所)的系统集成,实现潜水器万米深度下水声通信、定位导航以及精细探测. 相似文献
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"全海深潜水器声学技术研究与装备研制"项目属于"十三五"国家重点研发计划"深海关键技术与装备"重点专项,项目重点开展全海深载人/无人潜水器水声通信、声学探测等技术研究与装备研制.中国科学院声学研究所在"蛟龙"号、"深海勇士"号载人潜水器声学系统研制成功的基础上,2020年完成全海深载人潜水器("奋斗者"号)声学系统中全海深水声通信机、水声电话、测深侧扫声纳、多波束前视成像声纳、多普勒测速仪、避碰声纳的自主研发以及定位声纳(哈尔滨工程大学研制)和惯性导航设备(北京自动化控制设备研究所)的系统集成,实现潜水器万米深度下水声通信、定位导航以及精细探测. 相似文献
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"全海深潜水器声学技术研究与装备研制"项目属于"十三五"国家重点研发计划"深海关键技术与装备"重点专项,项目重点开展全海深载人/无人潜水器水声通信、声学探测等技术研究与装备研制.中国科学院声学研究所在"蛟龙"号、"深海勇士"号载人潜水器声学系统研制成功的基础上,2020年完成全海深载人潜水器("奋斗者"号)声学系统中全海深水声通信机、水声电话、测深侧扫声纳、多波束前视成像声纳、多普勒测速仪、避碰声纳的自主研发以及定位声纳(哈尔滨工程大学研制)和惯性导航设备(北京自动化控制设备研究所)的系统集成,实现潜水器万米深度下水声通信、定位导航以及精细探测. 相似文献
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《科技成果管理与研究》2013,(10):F0002-F0002,I0001
2013年9月6日,由中科院理化所承担的国家重大科研装备研制项目“深紫外固态激光源前沿装备研制项目,,在北京正式通过国家验收。 相似文献
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光刻机是生产芯片的机器,它将掩模板上的电路图形通过光源(激光或汞灯)的照射,掩模板上透光和不透光的部分就在涂有光刻胶的硅片上形成了电路图形。曝光分系统是光刻机的重要的组成部分,它包括光源(激光或汞灯),反射镜组,中继透镜组,积分棒,耦合透镜组,可变衰减器、快门、能量探测器、能量点传感器、投影物镜。光刻机工作原理和照相机有很多相似之处,但是比照相机要复杂的多。就曝光分系统而言,可变衰器相当于光圈;快门相当于相机的快门;能量探测器相当于相机的测光系统;投影物镜相当于镜头;反射镜组、中继透镜组、积分棒、耦合透镜组相当于相机的取景器。照相机要想拍出好照片必须对镜头进入的光进行控制,同样,曝光分系统要想满足在硅片曝光出电路的需要,必须对光源的照度和剂量、视场大小和中心位置、光源的照明均匀性按照生产指标进行控制,这时候就需要对曝光分系统进行测较。 相似文献