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CVD工艺是半导体芯片进行薄膜沉积加工的重要工艺,薄膜沉积的均匀性对最终芯片产品的良率有着至关重要的影响。CVD腔室是沉积反应进行的场所。反应气体从进入腔室进行沉积反应到最后从腔室排出,整个过程中流场分布所影响的不仅仅是沉积的均匀性,还有气体的扰动,流向,压力等变化所带来颗粒度问题。本文主要使用Solidworks Flow Simulation软件进行腔室流场仿真,分析CVD腔室结构变化对流场均匀性带来的影响及对应变化趋势。 相似文献
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近年来国内的心血管病(CVD)患病人群不断扩大,高血压(HBP)是CVD中较为常见的一种慢性疾病,亦是导致心血管风险增加的危险要素之一。HBP合并左室肥厚(LVH)是心血管突发事件几率增加的单独风险因子。文章回顾及研讨中医和西医对HBP合并左室肥厚相关研究近况与成果,为以后的进一步探究提供依据。 相似文献
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换热器种类很多,根据冷、热流体热量交换的原理和方式基本上可分三大类即:间壁式、混合式和蓄热式。在三类换热器中,间壁式换热器应用最多,管壳式换热器是间壁式换热器的主要类型。本文在给定的工艺参数下介绍了换热器的传热面积、流体流速、换热管、壳体壁厚等的设计计算。 相似文献
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本创新作品是一种新型污水处理装置,合理的结构方便观察其内部和快速排查,同时缓冲效果更好,保障了装置整体使用寿命,同时可进行泄压;作品由主体,主体的内部有处理腔,并在处理腔内横向安装第一隔板和第二隔板,将处理腔隔成上腔室、中腔室和下腔室,主体上有进水口、排气口和出水口,主体上有电机,并在电机的输出端设置有传动轴,传动轴上设置有搅拌桨,搅拌桨位于中腔室内,下腔室内设置有喷头和加热盘管;主体的侧壁上设置有观察孔,并在观察孔处设置有透明挡板,还包括把手、转轴、带动块和刷毛;还包括支撑架和缓冲弹簧,还包括双扭弹簧。 相似文献
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《大众科技》2020,(6)
运用TAITherm软件和Starccm+软件完成了电池包的热模型和流体模型的耦合仿真。运用TAITherm中已建立的热模型,定义热相关的边界条件并进行电池包内部热分析;运用Starccm+已建立的流体模型,选择乙二醇水溶液为冷却液,在初始温度为25℃、进口质量流量为0.18 kg·s~(-1)的边界条件下进行液冷板内部流体的对流换热分析;热-流耦合仿真后根据仿真结果对液冷板的U型处结构进行了优化。研究表明,液冷板原结构的U型处冷却液流动紊乱,造成较大压降;在液冷板U型处增加一定数量的导流柱进行优化,结果表明优化后的液冷板内导流结构可有效改善冷却液流动方向,达到了降低压降和增强换热的效果。 相似文献
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本文简介太阳能集热器供热(电能补充供热)系统,专利号:2007201408852.由钢制储水罐,中间用分隔管板分为两个容腔,一个容腔安装电加热器,另一个容腔连接太阳能集热器供热系统.两个容腔热水用U型波纹换热管相互自高温向低温传导.电加热器容腔用于储存采暖循环热水,太阳能热水容腔用于储存洗浴热水.有日照的时间,经过U型波纹换热管传导到电加热器容腔进行循环采暖;无日照的时间,用"谷"时电能进行加热采暖,根据环境温度的变化,调节电能与太阳能提供的热量,达到冬季室内采暖等目的. 相似文献
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板式换热器是用薄金属板压制成具有一定波纹形状的换热板片,然后叠装,用夹板、螺栓紧固而成的一种换热器。各种板片之间形成薄矩形通道,通过半片进行热量交换。工作流体在两块板片间形成的窄小而曲折的通道中流过。冷热流体依次通过流道,中间有一隔层板片将流体分开,并通过此板片进行换热。板式换热器换热系数在3000～4500kcal/m·°C·h,比管壳式换热器的热效率高3～5倍。板式换热器板片紧密排列,与其他换热器类型相比,板式换热器的占地面积和占用空间较少,面积相同换热量的板式换热器仅为管壳式换热器的1/5。板式换热器板片为独立元件,可按要求随意增减流程,形式多样;可适用于各种不同的、工艺的要求。不串液,板式换热器密封槽设置泄液液道,各种介质不会串通,即使出现泄露,介质总是向外排出。围绕着板式换热器,最常用、最直接的标准有:GB16409-1996《板式换热器》国家标准,已经于2010年正式被废止;NB/T47004-2009《板式换热器》,国家能源局发布,归口"全国锅炉压力容器标准化技术委员会",板式换热器在当今的工业生产中起着举足轻重的作用,换热器的投用可以大大地节约能源,更可以起到保护环境的作用,所以一直以来在工业生产中被广泛应用。国内现已发展成了多种规格、多中面积随之带来的是此行业的多样化的参差不齐的发展模式,随着广泛应用的普及,产品也出现了参差不齐和鱼龙混杂,各种板型型号乱写乱编,随意设计制造,扰乱了整个换热器市场,对换热技术的可持续发展造成严重的阻碍。 相似文献
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《发明与革新》2014,(5):42-42
成果简介：本实用新型技术涉及采用喷射原理,利用高压流体的能量,将被引射的低压流体增压的装置,是一种可调节喷射式压缩器。本技术可用于各种介质的喷射式压缩器,包括弹性介质及非弹性介质的两股不同压力各种介质流体进行混合,进行能量交换,形成一股设定工况压力各件下的各种柏态的混合流体。适合于各种可压缩与不可压缩流体介质用于高品位能量流体,替代了传统的造成能量贬值的质量调节和简易流量的调节喷射式压缩器,可以广泛用于需要变工况及进行参数调节的电厂、不凝性气体排出系统、废热蒸汽回收、工业生产的蒸汽喷射真空系统（真空蒸发、真空蒸馏、真空结晶、真空干燥等）,优化生产达到节能改善工艺操作和清洁生产目的。 相似文献
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为揭示隔板对钢箱梁狭长空间的火灾烟气蔓延特征及温度分布的影响，本文采用FDS(fire dynamics simulator)计算，研究不同横隔板间隔的烟流运动行为，探讨横隔板间隔大小对钢箱梁火灾特性影响。结果表明：钢箱梁内部横、纵隔板交错，导致腔室存在显著的蓄烟效应，钢箱梁内的烟气运动呈横向、纵向分步填充特性，横隔板的间隔越小，烟气纵向蔓延填充的速度越慢，相比无横隔板时，有横隔板可使蔓延填充时长增加4.6倍以上；钢箱梁内高温烟气主要集中在起火腔室，经横、纵隔板阻隔后均有大幅下降，相邻腔室的最高温对比起火腔室均下降49%以上，起火腔室烟气最高温度随横隔板间隔增大而逐渐下降，但相应的高温烟气影响范围逐渐变大；通过完善狭长多腔室通风因子和钢结构有效传热系数构建了修正的McCaffrey公式，有效提升了横隔板间隔2～6 m范围内的钢箱梁内敷电缆火灾顶棚烟气最高温度的预测精度。研究成果可为钢箱梁内敷电缆的火灾防控设计提供参考。 相似文献
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氮化铁磁流体的制备与稳定性 总被引：1，自引：0，他引：1
用等离子CVD法制备了氮化铁磁流体,磁流体中纳米粒子分布均匀,平均粒径为8nm,磁流体有明显的超顺磁性,无磁滞现象;磁流体的饱和磁化强度可达820Gs。对活性剂用量、低场静置、载液粘度和颗粒相浓度等对磁流体悬浮稳定性进行研究,结果表明,活性剂用量为5%左右为最佳,低场静置可以明显提高悬浮稳定性,而颗粒浓度小或载液粘度大时稳定性则较好。为磁流体应用技术提供高性能的氮化铁磁流体。 相似文献
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在化工、冶金及余热回收的生产装置中，常会遇到间歇工作的盘管式换热器，所谓间歇式工作的换热器是指在一定的时间内加热或冷却容器内静止流体的装置，本文主要讨论此种换热器的参数的计算与分析，对从事工程换热的技术人员有一定的参考价值。 相似文献