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采用非醇盐溶胶-凝胶工艺在Al_2O_3基片上旋转涂敷制得掺Sb的SnO_2薄膜。再经直流溅射制得掺Pt的Sb:SnO_2薄膜,探讨了不同Pt添加量对气敏性能的影响。结果表明,对Pt的溅射时间为90s时,元件对50ppm浓度乙醇气体的灵敏度高达43。经选择性研究表明,该元件有较好的选择性和优异的酒敏特性。 相似文献
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采用十二烷基苯磺酸钠(简称DBS)微乳液法合成SnO2微粉,并对SnO2微粉进行气敏性能的测试.结果表明,用DBS微乳液法合成的SnO2微粉,对SnO2气敏元件的性能有较大影响. 相似文献
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采用十二烷基苯磺酸钠(简称DBS)微乳液法合成SnO2 微粉，并对SnO2微粉进行气敏性能的测试。结果表明，用DBS微乳液法合成的SnO2微粉，对SnO2气敏元件的性能有较大影响。 相似文献
4.
本文研究了 Eu_2O_3—SnO_2复合薄膜气敏元件的制作工艺和敏感性能。测量结果表明,这种元件对丙酮敏感,且具有选择性好,响应时间和恢复时间短等优点。 相似文献
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1mol%TiO2—SnO2薄膜的溶胶—凝胶制备及其气敏特性 总被引：1，自引：0，他引：1
以无机盐SnCl2·2H2O为主体原料,以（C4H9O）4Ti为掺杂剂,无水乙醇为溶剂,采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）工艺制备了TiO2掺杂的SnO2薄膜。采用差热-失重（DTA－TG）及X射线衍射（XRD）等分析手段研究了1mol％TiO2－SnO2薄膜的热分解晶化过程及物相组成。发现1mol％TiO2－SnO2薄膜在常温下对NOx气体具有较好的气敏性能,并可以在不同的工作温度下检测低浓度的NOx及H2S气体。本文还讨论了1mol％TiO2－SnO2薄膜对NOx及H2S的气敏机理。 相似文献
6.
采用电场组装的方法将SnO2纳米线组装在Pt电极上,利用扫描探针显微镜（SPM）的导电AFM（C—AFM）模式对组装的SnO2纳米结构的电学性质进行了测量,所测得的SnO2纳米线的I—V曲线是非线性、非对称的。根据测量结果,得出SnO2纳米线与两个Pt电极之间形成了背靠背的肖特基势垒结构,并通过分析得出SnO2纳米结构的电流输运机制。 相似文献
7.
本文采用等离子体激活化学气相沉积制备了SnO2掺杂透明导电膜，并研究了薄膜的光学和电学性能，制得的薄膜电阻最低约为17Ω/口，其可见光透射率为85%以上，红外吸收率为80%左右，还测得该膜具有负温阻特性。 相似文献
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侯长平 《淮南师范学院学报》2006,8(3):19-21
文章综述了近年来国际上SnO2薄膜气体传感器在制备方法与性能修饰方面研究的新进展。对于各种SnO2薄膜气体传感器的制备方法总结了其优缺点,并对各种修饰、改善SnO2薄膜气体传感器性能的方法进行了归纳。SnO2薄膜气体传感器的制备与性能修饰、改进是下一步发展方向的基础。期望通过这一简单、浅略的综述,能使读者对近年来SnO2薄膜气体传感器基础研究方向的发展有所了解。 相似文献
9.
以普通玻璃片作为基片，首次用溶胶-凝胶浸渍-提拉法制得TiO2／CeO2／SnO2薄膜，该薄膜厚度均匀，且在室温下具有良好的光致超亲水性。主要研究了薄膜厚度、热处理温度对复合薄膜亲水性能的影响，并利用XRD、DTA-TG进行了表征。 相似文献
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对CuO材料进行掺杂金属氧化物试验，并用乙醇、甲醛、液化气、汽油、氢气等气氛进行气敏试验，结果表明，合适的掺杂原料不仅可以改变氧化铜气敏元件的灵敏度，而且可以提高氧化铜气敏元件的选择性。 相似文献
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韩哲 《唐山师范学院学报》2005,27(5):14-16
研究了纳米氧化物掺杂对Ag/SnO2触头材料物理性能的影响.采用溶胶-凝胶法制备SnO2与各种掺杂氧化物(包括TiO2、ZnO、Sb2O3、CuO)的混合粉末.粉末的XRD、TEM表明,所得粉末为纳米级,且掺杂物离子能很好地进入到SnO2的晶格中;粉末的密度,电导率等测试表明SnO2的物理性能有了明显改善. 相似文献
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牟志刚 《职教通讯(江苏技术师范学院学报)》2007,13(2)
采用硼氢化钠还原法制得聚乙烯吡咯烷酮(PVP)保护的Pt/Au纳米双金属簇,用TEM、UV-VIS吸收光谱进行了表征,从制备方法、还原顺序、金属不同摩尔比等方面对双金属簇的影响进行了研究.分别制得了Pt/Au合金及Pt/Au核壳结构的直径在2～5nm的纳米双金属簇. 相似文献
14.
韩哲 《唐山师范学院学报》2005,27(5):14-16,30
研究了纳米氧化物掺杂对Ag／SnO2触头材料物理性能的影响。采用溶胶-凝胶法制备SnO2与各种掺杂氧化物（包括TiO2、ZnO、Sb2O3、CuO）的混合粉末。粉末的XRD、TEM表明，所得粉末为纳米级，且掺杂物离子能很好地进入到SnO2的品格中；粉末的密度，电导率等测试表明SnO2的物理性能有了明显改善。 相似文献
15.
国内气敏材料和器件的研究现状及趋势 总被引：3，自引：0，他引：3
傅军 《海南师范学院学报》2001,14(1):37-41
从气敏材料的制备，气敏元件的性能及如何提高气敏器件的灵敏度，选择性及长期稳定性等方面，介绍了国内气敏材料和器件的研究进展，对发展的趋势作了展望。 相似文献
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球形SnO2微晶水热法制备与表征 总被引：1，自引：0，他引：1
采用SnCl4.5H2O为原料,NaOH作沉淀剂,通过一个简单的水热过程制得球形SnO2微晶。样品的XRD和TEM表征结果表明反应温度、水热时间、不同的碱源和软模板对产物的形貌和尺度有一定的影响,球形SnO2微晶的形成机理可能是一个水热过程中的自组装行为。 相似文献
17.
为了简化制作工艺,使温度分布均匀以及降低功耗,设计了一种基于MEMS制造工艺的悬臂共面式SnO2气体传感器.使用有限元法对这种传感器及膜结构堆积于硅基底上的封闭膜式气体传感器进行了稳态热分析,结果表明悬臂共面式传感器拥有更均匀的温度分布和更低的功耗.当最高温度为383℃时功耗仅为7mW,敏感薄膜上的温差低于14℃.为解决悬臂易碎的问题,提出了一种新的制造工艺,该过程在正面刻蚀SiO2层形成悬臂结构前沉积SnO2敏感薄膜,并采用深反应离子刻蚀的方法对硅基底进行体刻以避免湿法刻蚀对传感器表面的化学污染.整个过程总共需要4块掩模板.采用旋涂法溶胶凝胶法将掺有Fe离子的SnO2薄膜沉积于基底上作为敏感元件.该器件对氢气表现出了良好的气敏性能,随着氢气浓度从50×10-6上升到2000×10-6,灵敏度逐渐提高,在2000×10-6时的灵敏度为30. 相似文献
18.
采用表面修饰技术,利用气敏元件表面覆膜方法,得到高选择性ＳｎＯ２半导体ＮＨ３敏感元件,并对元件的特性和机理进行了分析。 相似文献
19.
以SnCl4.5H2O作为反应前驱物,采用溶胶-凝胶法制备了纳米SnO2薄膜,对薄膜烧结的温度及时间等工艺进行了研究,得到了最佳的烧结条件,采用X射线衍射仪（XRD）及原子力显微镜（AFM）对薄膜进行了结构形貌表征。结果表明,当烧结温度为450℃时,纳米SnO2薄膜为金红石型结构,表面形貌最佳,平均颗粒约为39-45nm。 相似文献
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《实验室研究与探索》2018,(11)
利用磁控溅射和湿法刻蚀技术在玻璃基底上制备ATO/Ag/ATO/Cr复合薄膜及其电极,研究不同热处理温度对薄膜电极结构、表面形貌以及电学性能的影响。由于ATO (Sb掺杂SnO2)和Cr的共同保护作用,不仅有效阻挡氧气向电极表面扩散造成Ag的氧化,同时抑制Ag薄膜在高温下的表面凝聚现象,使得薄膜电极在550℃空气退火后,仍然具有较低的电阻率,为23 nΩ·m,且经过600℃的高温处理后依然具有较好的导电性能。因此,选择一定厚度的ATO作为Ag的保护层能显著提高Ag基薄膜电极在热处理过程中的抗氧化性。单项试验结果表明,此厚度30～60 nm为宜。 相似文献