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针对PECVD中等离子体的密度沿径向分布均匀性较差、空间气氛化学活性较差的问题，在PECVD的基础上加入电子发射源和正交电磁场以控制电子的运动，从而增强等离子场的强度和范围，使反应场的活力增加，以提高反应空间的活化能力，继而提高膜层质量.结果表明，该方法可以使等离子场的分布发生改变，可控制、调整等离子体密度及范围. 相似文献
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“十一五”以来,我区广大干部教师积极投身新课改,努力实践在工作中研究,在研究状态下工作,在教育科研方面取得骄人的业绩。如今“十一五”教育科研工作周期已过半,为了尽快推动科研成果转化为生产力,本专栏将着重宣传“十一五”以来教师们在教育教学研究中取得的初步成果,并配合“十一五”课题研究结题工作宣传基本科研常识。与大家共同分享科研工作带给我们的快乐。 相似文献
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仓储直销具备很多优势,符合中国家电行业发展现状,就仓储直销模式的优势和在我国的发展现状进行了描述,同时对仓储直销在我国家电行业应用中所存在的问题进行了研究. 相似文献
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