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本文采用READx光相机照像的方法,对部分不同退火温度和退火时间的Co/si系薄膜样品进行了x射线衍射分析,对目前尚有争议的一些问题给出了部分实验结果和结论。并对Co/si薄膜反应中出现的织构情况,我们通过对READx光相机加入新的照像方法,方便地定出了一些钴硅化物织构情况。  相似文献   
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