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在超精密气浮定位平台研究工作中,气浮轴承是基本单元,导轨滑架与气浮轴承的连接采用自准式定位结构,并且闭式导轨中辅助支撑一侧的气浮轴承安装支架串联蝶形弹簧,起到了间隙补偿的作用,有效的补偿了由于温度变化,加工、安装误差造成的气膜间隙变化,降低了加工要求,提高了导轨的性能。  相似文献   
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