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微电子机械系统(MEMS)技术及其应用 总被引:1,自引:0,他引:1
李文望 《鹭江职业大学学报》2001,9(2):53-57
本阐述微电子机械系统技术特点、加工工艺、发展前景及其国内外发展的动态,微电子机械技术在环境科学和生物医疗上的应用。 相似文献
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电子隧道效应在微机振动陀螺中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
简介微机械振动陀螺的工作原理和电子隧道效应原理,电子隧道效应在敏感微小位移的变化有极高的灵敏度,巳成功地应用在加速度计、红外探测器、磁强针等微传感器上,本提出把电子隧道效应应用到微机械振动陀螺的输出检测,并分析了输出为角振动和线振动的结构设计方案及检测方式。 相似文献
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静电纺丝技术是一种简单、怏速制备纳米纤维的方法,已成为目前纳米材料制造领域研究的热点;静电纺丝纳米纤维以结构均匀、比表面积大、易于改性等优点,在电子器件、生物医学领域、滤材等方面广泛应用.文章介绍了功能性纳米纤维的制备方法、有序纳米纤维的研究现状,分析了纳米纤维在传感器和微机电系统中的应用. 相似文献
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快速成型中的三维数据准备 总被引:3,自引:0,他引:3
李文望 《鹭江职业大学学报》2005,13(1):55-58
快速成型中的三维数据包括物体的三维CAD模型、通过三维数字化测量仪器测得的物体表面的三维数据点云、STL件及三维模型的切片,通过概念设计和反求工程中的三维扫描可以建立物体的三维CAD模型,并着重讨论了工件表面点三维数据的获取方法及数据点云的处理,STL件的格式、精度、分割与拼接。 相似文献
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