喷雾热解法制备SnO2薄膜的结构及性能研究     

郅晓  赵高扬  雷静果  张生国 《洛阳工业高等专科学校学报》2008,18(2)

采用喷雾热解法,在玻璃基板上制备了辐射率较低的SnO2薄膜。利用紫外可见光分光光度计、XRD等手段,研究了沉积温度、液流量对薄膜结构及光电性能的影响。结果表明,沉积温度为520℃、液流量为1.30mL/s时,薄膜具有较佳的电学、光学性能,透过率为80%,电阻率为7×10-4Ω.cm。  相似文献