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本文从电子束物理气相沉积设备的组成、主要部件、真空度、冷却结构等四个方面八手,重点讨论了电子束物理气相沉积设备的工作原理,研究了电子枪、离子清洗装置、真空度等设计参数,提出了电子束物理气相沉积设备结构设计建议。  相似文献   
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