Sol-Gel法制备钛酸锶钡薄膜及其掺杂介电行为     

赵丽丽  高永进  张智翔  翟春雪  何崇斌 《中国科技信息》2012,(7):60

采用溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡薄膜,经XRD测试薄膜的相结构,证明薄膜具有一定的择优取向性。性能测试表明,随Mn掺杂量的增加,薄膜的介电系数稳定地增加,而介电损耗在Mn含量为7.5%时最小。  相似文献   

锶钡比及膜厚对钛酸锶钡薄膜介电行为的影响     

赵丽丽  张智翔  高永进  翟春雪  何崇斌 《中国科技信息》2012,(6):54

采用溶胶-凝胶法制备不同锶钡比、不同膜厚的钛酸锶钡薄膜,研究了薄膜的介电行为。性能测试表明,在不同的锶钡比的钛酸锶钡薄膜中,介电性能最好的锶钡比为0.5:0.5,此时介电系数最大介电损耗最小;膜厚与薄膜的介电系数呈线性关系,随膜厚增加薄膜的介电系数线性增加。  相似文献