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本文介绍了薄膜太阳能电池工厂的厂务自动控制系统(FMCS)。文中详细介绍了厂务自控系统的整体架构,控制功能。并介绍了霍尼韦尔控制器在厂务自动控制系统中的应用。该系统对半导体工厂生产环境的控制起到了重要作用,提高了自动控制水平。  相似文献   
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