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使用 CF_4+5%O_2和 Cl_2+CHF_3两种混合气体分别对 TaSi_2、Polysi、SiO_2和AZ 1350胶材料进行了反应离子刻蚀实验,得到刻蚀速率随气流量、电源功率、流量比及真空度的变化关系曲线。通过 SEM 观察了 TaSi_2/Polysi/SiO_2/Si 的刻蚀线条图形。由测量 TaSi_2线条的电阻值计算出其电阻率为70μΩ·cm。 相似文献
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