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1.
低压等离子体直管的制备及电子密度分布测量
李炳辰
李道儒
张亚非
《中国科技信息》
2018,(Z1)
本文利用自主设计并搭建的低气压等离子体直管的加工平台,在高真空环境下充入工作气体,制备出可以激发等离子体的直管。利用双探针诊断法,实验测出当充入0.5Torr氩气时,管内径向等离子体电子密度的分布呈抛物线型。
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