| 差分式微电容加速度计的数学模型及应用 |
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| 引用本文： | 张俊杰,宁敏东.差分式微电容加速度计的数学模型及应用[J].洛阳师范学院学报,2006,25(5):53-54. |
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| 作者姓名： | 张俊杰 宁敏东 |
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| 作者单位： | 洛阳师范学院物理与电子科学系,河南,洛阳,471022 |
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| 摘 要： | 介绍了一种基于MEMS和表面微加工工艺的差分式微电容加速度计,并通过分析,构建了该加速度计的数学模型,并简要介绍了该加速度计的一些简单应用.
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| 关 键 词： | 差分式电容器 微传感器 微加速度计 MEMS |
| 文章编号： | 1009-4790（2006）05-0053-02 |
| 收稿时间： | 2005-12-20 |
| 修稿时间： | 2005年12月20 |
The Mathematic Method and Application of the Differential Microcapacitive Accelerometer |
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| ZHANG Jun-jie,NING Min-dong.The Mathematic Method and Application of the Differential Microcapacitive Accelerometer[J].Journal of Luoyang Teachers College,2006,25(5):53-54. |
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| Authors: | ZHANG Jun-jie NING Min-dong |
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| Abstract: | This paper introduces a differential microcapacitive accelerometer based on MEMS and surface micromachining and constructs a mathematic method by analyzing its circuit model.This paper also introduces some simple applications of the microcapacitive accelerometer. |
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| Keywords: | differential capacitor microsensor microaccelerometer MEMS |
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