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激光微细加工在电子工业中的应用
引用本文:黄黎红.激光微细加工在电子工业中的应用[J].莆田学院学报,2001,8(4):38-41.
作者姓名:黄黎红
作者单位:莆田高等专科学校机电系,福建,莆田,351100
摘    要:从电子工业的角度出发,介绍激光微细加工的应用,包括:激光打标、细导线剥离、微透镜列阵、激光光刻、激光表面改性等,并综述了它们的研究现状和未来发展趋势。

关 键 词:激光  微细加工  光刻  电子工业
文章编号:1008-7885(2001)04-0038-04
修稿时间:2001年9月7日

The Application of Laser Micro-machining in Electronic Industry
HUANGLi-Hong.The Application of Laser Micro-machining in Electronic Industry[J].journal of putian university,2001,8(4):38-41.
Authors:HUANGLi-Hong
Abstract:Being mature applicationand vigorousvitality,the technologyof laserare expoundingtheir boundless potentialityin many territory.Not only the applicationof laser micro-machiningin electronic industryare describedin this paper,includinglaser mark,peelingtiny lead,microlcnarrays,laser lithographyand laser changingproperty,but also their researchstatus and developingprospects are describedin brief.
Keywords:laser  micro-machining  lithography  electronicindustry
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