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| 影响燃烧法合成金刚石薄膜的参数 | |
| 引用本文： | 文良起,刘书华.影响燃烧法合成金刚石薄膜的参数[J].温州大学学报(社会科学版),2001,14(3):82-83. |
| 作者姓名： | 文良起 刘书华 |
| 作者单位： | 温州大学机械学院,浙江 温州 325027 温州大学机械学院,浙江 温州 325027 |
| 摘 要： | 制备金刚石薄膜的方法很多。本文主要介绍了影响燃烧法合成过程的主要因素及其对膜的质量的影响。研究表明，基板温度、氧／乙炔配比、基板至内焰距离等对合成的影响很大。 |
| 关 键 词： | 燃烧法 金刚石薄膜 影响 因素 |
| 文章编号： | 1008-309(2001)03-0082-02 |
| 修稿时间： | 2001年4月12日 |
Influencing Parameters of Synthesizing Diamond Thin Films By Combustion Flame Method |
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