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| 真空蒸镀技术制备类金刚石碳膜材料及其表征 | |
| 引用本文： | 商孟香,何溯源,陆姣.真空蒸镀技术制备类金刚石碳膜材料及其表征[J].环球赛鸽科技,2015(4). |
| 作者姓名： | 商孟香 何溯源 陆姣 |
| 作者单位： | 黑龙江农业职业技术学院,黑龙江佳木斯,154007 |
| 摘 要： | 真空蒸镀技术制备类金刚石碳薄膜材料,其实验条件对所制备的碳膜结构有着重要的影响.本文着重研究了靶基距在制备过程中的最佳实验条件,并用拉曼光谱,X射线光电子能谱(XPS)对所制备的类金刚石碳膜进行了结构分析,利用原子力显微镜(AFM)对薄膜进行了表面形貌分析. |
| 关 键 词： | 真空蒸镀技术 金刚石碳膜材料 碳膜结果 |
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