| 薄膜应力测量研究现状 |
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| 引用本文： | 徐鹏,张萌.薄膜应力测量研究现状[J].科技广场,2006(12):125-126. |
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| 作者姓名： | 徐鹏 张萌 |
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| 作者单位： | 1. 南昌大学分析测试中心
2. 南昌大学材料科学与工程学院,南昌,330047 |
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| 基金项目： | 南昌大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 本文总结了薄膜应力的一些测量方法,对一些主要测量方法的基本原理及各自的特点进行了综述。探讨了薄膜应力研究的发展方向。
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| 关 键 词： | 薄膜 应力 |
| 文章编号： | 1671-4792-（2006）02-0125-02 |
Current Status of Research on Measurement of the Stress in Thin Film |
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| Xu Peng,Zhang Meng.Current Status of Research on Measurement of the Stress in Thin Film[J].Science Mosaic,2006(12):125-126. |
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| Authors: | Xu Peng Zhang Meng |
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| Institution: | l,Analyze and Test Center of Nanchang University; 2.Material Science and Technology Department of Nanchang University, Nanchang 330047 |
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| Abstract: | |
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