溶胶-凝胶多层高反射膜光学特性研究 |
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引用本文: | 袁英,杨帆,孙骐.溶胶-凝胶多层高反射膜光学特性研究[J].安阳师范学院学报,2003(5):18-21. |
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作者姓名: | 袁英 杨帆 孙骐 |
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作者单位: | 1. 安阳师范学院,物理系,河南,安阳,455000 2. 同济大学波耳固体物理研究所,上海,200092 |
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摘 要: | 利用Essential Macleod膜系设计程序,对溶胶-凝胶法制备的多层光学高反膜的光学特性进行了理论上的研究。通过膜系设计程序计算得到光学特性曲线,分析了多层膜层数、膜层奇偶性和基底对薄膜光学性能的影响,得到性能最优的理论膜系结构。并设计了带有抗激光损伤匹配层的多层光学高反膜,研究了匹配层对高反膜光学特性的影响。以上研究结果将对溶胶一凝胶多层高反射膜的镀制起到重要的指导作用。
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关 键 词: | 溶胶-凝胶技术 Essential Macleod 高反射膜 光学特性 |
文章编号: | 1671-5330(2003)05-0018-04 |
修稿时间: | 2003年8月8日 |
Theoretical Study on Optical Properties of Sol-Gel High-reflected Multi-layer Films |
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Abstract: | |
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Keywords: | Sol-Gel Process Essential Macleod high-reflected multi-layer film optical property |
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