| 本征微晶硅薄膜的激活能特性研究 |
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| 引用本文： | 陈庆东,王俊平,马国利.本征微晶硅薄膜的激活能特性研究[J].滨州学院学报,2011(6):59-62. |
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| 作者姓名： | 陈庆东 王俊平 马国利 |
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| 作者单位： | 滨州学院物理与电子科学系 |
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| 基金项目： | 滨州学院科研基金项目(BZXYG1111) |
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| 摘 要： | 利用激活能测试装置测量了VHF-PECVD高速沉积的本征微晶硅薄膜的激活能,结果表明,在不同沉积条件下制备的本征微晶硅薄膜的晶化处于非晶-微晶相变域附近,激活能都偏低,存在氧污染问题.给出了氧污染解决途径.
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| 关 键 词： | VHF-PECVD 微晶硅 激活能 |
Study on the Properties of Activation Energy of Intrinsic Microcrystalline Silicon Thin Film |
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| CHEN Qing-dong,WANG Jun-ping,MA Guo-li.Study on the Properties of Activation Energy of Intrinsic Microcrystalline Silicon Thin Film[J].Journal of Binzhou University,2011(6):59-62. |
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| Authors: | CHEN Qing-dong WANG Jun-ping MA Guo-li |
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| Institution: | (Department of Physics and Electronics Science, Binzhou University,Binzhou 256603,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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