| 微系统进展与我院微系统发展战略思考 |
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| 引用本文： | 封松林,王渭源,王跃林.微系统进展与我院微系统发展战略思考[J].中国科学院院刊,2003,18(1):14-19. |
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| 作者姓名： | 封松林 王渭源 王跃林 |
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| 作者单位： | 上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 |
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| 摘 要： | 微系统是指集成了微电子和微机械(或光学、化学、生物等方面的微元件)的系统。它以微米尺度理论为基础,用批量化的微电子技术和三维加工技术制造,用以完成信息获取、处理及执行的功能。阐述了国内外微系统技术及其产业发展的历程、现状和趋势,比较分析了我院微系统技术发展现状。基于以上分析讨论,提出了我院微系统发展战略。最后提出了对我院微系统产业发展的思考。
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| 关 键 词： | 微系统 进展 产业化 发展战略 |
| 修稿时间： | 2002年12月16 |
Microsystem's Evolution and Develop Strategy of Microsystem of Chinese Academy of Sciences |
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| Feng Songlin,Wang Wei yuan and Wang Yuelin.Microsystem's Evolution and Develop Strategy of Microsystem of Chinese Academy of Sciences[J].Bulletin of the Chinese Academy of Sciences,2003,18(1):14-19. |
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| Authors: | Feng Songlin Wang Wei yuan and Wang Yuelin |
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| Institution: | Shanghai Institute of Microsystemand Information Technology,CAS, 200050 Shanghai;Shanghai Institute of Microsystemand Information Technology,CAS, 200050 Shanghai;Shanghai Institute of Microsystemand Information Technology,CAS, 200050 Shanghai |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microsystem evolution industrialization develop strategy |
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