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| 砂浆密度对多晶硅锭剖方尺寸的影响 | |
| 引用本文： | 张,亮,崔小换.砂浆密度对多晶硅锭剖方尺寸的影响[J].科技风,2014(5):109-110. |
| 作者姓名： | 张 亮 崔小换 |
| 作者单位： | 洛阳中硅高科技有限公司;洛阳麦斯克电子材料有限公司; |
| 摘 要： | 在多晶硅锭剖方过程中,砂浆有着极其重要的作用,不同的砂浆密度会直接影响剖方后的小方棒尺寸、表面平整度。在设定砂浆温度、砂浆流量及设备工艺参数为恒量的情况下,通过实验得出了多晶硅锭剖方的最佳砂浆密度,从而为加工出高质量的小方棒,提高成品率提供了参考。 |
| 关 键 词： | 剖方 砂浆 密度 |
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