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| 低压等离子体直管的制备及电子密度分布测量 | |
| 引用本文： | 李炳辰,李道儒,张亚非.低压等离子体直管的制备及电子密度分布测量[J].中国科技信息,2018(Z1). |
| 作者姓名： | 李炳辰 李道儒 张亚非 |
| 作者单位： | 上海交通大学薄膜与微细加工教育部重点实验室; |
| 摘 要： | 本文利用自主设计并搭建的低气压等离子体直管的加工平台,在高真空环境下充入工作气体,制备出可以激发等离子体的直管。利用双探针诊断法,实验测出当充入0.5Torr氩气时,管内径向等离子体电子密度的分布呈抛物线型。 |
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