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分析1/4波片对椭圆偏振法测量误差产生的原因
引用本文:
温淑珍,李怀亮,张全禹.分析1/4波片对椭圆偏振法测量误差产生的原因[J].黑龙江科技信息,2007(7X):42-42.
作者姓名:
温淑珍
李怀亮
张全禹
作者单位:
绥化学院物理与电子信息系,黑龙江绥化152061
摘 要:
主要讨论1/4波片误差对椭偏法测量薄膜厚度及折射率等参量的影响,质量理想的波片以及方位角的误差对PCSA系统测量结果的影响。
关 键 词:
波片
椭偏法
偏振光
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