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SMA驱动吸附机构的负压模型浅析

摘要：	本文采用形状记忆合金(SMA)驱动的负压吸附机构能够克服MEMS吸附机构不易微小化的缺点,该吸附机构的负压模型具有一定的吸附能力,产生负压较快,能够作为MEMS的吸附机构。
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