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多孔硅及硅基发光材料
引用本文:鲍希茂.多孔硅及硅基发光材料[J].中国科学基金,1998,12(3):162-166.
作者姓名:鲍希茂
作者单位:南京大学物理系,南京,210093
摘    要:硅是微电子技术的材料基础。为了发展光电子集成就必须研究硅基发光材料。多孔硅是硅基发光材料的一个重大突破,并实现了多孔硅发光二极管与集成电路的集成。同时,硅基发光材料研究的纵深发展,出现了发光强、稳定性好的硅基多孔SiC蓝光发射材料和发光波长范围宽的纳米半导体镶嵌SiO_2发光材料。硅基镶嵌纳米发光材料是一个富有活力,有应用前景的研究领域。

关 键 词:多孔硅,纳米材料,硅基发光材料,微电子学,光电子集成

POROUS SILICON AND SILICON-BASED LIGHT-EMITTING MATERIALS
Bao Ximao.POROUS SILICON AND SILICON-BASED LIGHT-EMITTING MATERIALS[J].Bulletin of National Natural Science Foundation of China,1998,12(3):162-166.
Authors:Bao Ximao
Abstract:
Keywords:
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