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| DyFeCo磁光薄膜的制备和特性研究 | |
| 引用本文： | 卢正启,李佐宜.DyFeCo磁光薄膜的制备和特性研究[J].上饶师专学报,1996,16(6):29-33. |
| 作者姓名： | 卢正启 李佐宜 |
| 摘 要： | 本文采用射频磁控溅射方法制备了ＤｙＦｅＣｏ非晶磁光薄膜，研究了氩气压、溅射功率对ＤｙＦｏＣｏ薄膜性能的影响，实验表明：反射率随惶气压升高而降低，矫顽力随敢压升高而逐渐增大，达到一定值时克尔回线反应，随后矫顽力又逐渐减少，高气压下的矫顽力温度特性较低气压下的矫顽力温度特性要好，但氩气压进一步升高，磁光克尔回线矩形度变差，本征磁光克尔角随氩气压升高而增大，到达最大值后又逐渐减少。反射率随溅射功率增加而 |
| 关 键 词： | 矫顽力 溅射功率 磁光薄膜 薄膜 制备 非晶薄膜 |
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