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| 半导体产业遭遇环保瓶颈可持续发展路线多方探求 | |
| 引用本文： | 刘国林.半导体产业遭遇环保瓶颈可持续发展路线多方探求[J].中国科教创新导刊,2004(11):12-13. |
| 作者姓名： | 刘国林 |
| 摘 要： | 乍看上去,半导体制造厂似乎比任何其他产业的制造厂都干净。在半导体制造厂里,每立方米所含的灰尘不会超过几个粒子,这主要是为了防止灰尘集聚太多而阻断微线路。工人们都是全副武装,不会让半根头发和半点儿脱落的皮肤污染生产环境。而且生产用水也要经过重重过滤,远比多数人所喝的饮用水干净。但这种表面上的洁净,并不能掩盖半导体业存在的严重环境污染问题。实际上,一个半导体制造厂就是一个巨大的化工厂。在这里,砷和磷等毒性很大的元素被大量用于改造半导体材料的电学特性。易挥发的有机溶剂被喷洒在硅晶片上,以消除它们刻蚀时所产生的… |
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