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| 基于多模微环谐振腔光芯片的温度测量装置设计 | |
| 引用本文： | 卢瑾,张昱路,任宏亮,覃亚丽.基于多模微环谐振腔光芯片的温度测量装置设计[J].实验技术与管理,2022(2):110-115. |
| 作者姓名： | 卢瑾 张昱路 任宏亮 覃亚丽 |
| 摘 要： | 为提高微纳光学传感器的测温精度,基于多模微环谐振腔光芯片,搭建了高精度温度测量装置.装置通过采集微环谐振腔多模温度传感数据,利用人工神经网络算法有效融合多模传感信息,提高传感灵敏度.实验结果表明,多模传感方法在24.9～32.0℃的温度范围内,测量精度为±0.074℃,与单模微环谐振腔传感方法相比降低了温度探测极限. |
| 关 键 词： | 光芯片 微环谐振腔 多模传感信息融合 广义回归神经网络 |