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| MOSFET阈值电压的调整方法及测试 | |
| 引用本文： | 宁莉,王淼.MOSFET阈值电压的调整方法及测试[J].黑龙江科技信息,2014(23):76-50. |
| 作者姓名： | 宁莉 王淼 |
| 作者单位： | 西安卫光科技有限公司 |
| 摘 要： | 本文通过论述MOSFET的模型,推导阈值电压计算公式,得出影响阈值电压的诸多因素,其中最大的影响因素就是栅氧厚度和衬底掺杂浓度。进而阐述阈值电压调整的方法和晶圆制造中实际测试阈值电压的方法。 |
| 关 键 词： | MOSFET 阈值电压 栅电压 漏电流 跨导 |
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