|
|||||
|
|
| 厚膜微压传感器研究取得重大进展 | |
| 引用本文： | 马以武.厚膜微压传感器研究取得重大进展[J].中国科学院院刊,2000,15(4):282-283. |
| 作者姓名： | 马以武 |
| 作者单位： | 合肥智能机械研究所!合肥230031 |
| 摘 要： | 微压力传感器主要用于测量气体或液体的微小压力 ,通常最小压力测量范围为 1ｋＰａ—1 0ｋＰａ ,在石化、冶金、电力、水文等行业中广泛用作压力、液位测量。此外 ,随着机电一体化及信息技术的发展 ,在空气动力装置、医疗、家电等领域也开始大量应用 ,其需求量逐年增长。目前国内外常用的微压力传感器主要有两种 ,一是扩散硅 ,二是组合式。量程一般在1 0ｋＰａ— 5 0ｋＰａ ,不耐腐蚀 ,成本高。要进一步提高灵敏度 ,向微压力品种发展 ,这两种结构的微压力传感器都存在相当大的难度。为研究开发新产品 ,在“九五”传感器国家重点科技攻关计划… |
| 关 键 词： | 微压传感器 厚膜 进展 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《中国科学院院刊》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《中国科学院院刊》下载免费的PDF全文 | |