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| 微定位工作台的非线性PID控制 | |
| 引用本文： | 阎兵,田延岭,张大卫.微定位工作台的非线性PID控制[J].天津职业技术师范学院学报,2004,14(3):1-4. |
| 作者姓名： | 阎兵 田延岭 张大卫 |
| 作者单位： | [1]天津工程师范学院机械工程系，天津300222 [2]天津大学机械工程学院，天津300072 |
| 摘 要： | 为了消除压电陶瓷的迟滞、蠕变等非线性对定位精度的影响，采用了非线性PID控制算法来实现微定位工作台的实时控制。利用跟踪微分器对信号进行跟踪并得到其微分信号，提高了控制系统的鲁棒性。通过计算机仿真，验证了所设计的微定位工作台的特性和闭环控制算法的有效性。 |
| 关 键 词： | 微定位工作台 弹性铰链 压电陶瓷 非线性PID |
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