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| 气体流量对磁控溅射制备ZnO薄膜沉积速率以及阻隔能力的影响 | |
| 引用本文： | 王超楠,杨林,鲁听,黄保进,江志明.气体流量对磁控溅射制备ZnO薄膜沉积速率以及阻隔能力的影响[J].科技风,2018(15). |
| 作者姓名： | 王超楠 杨林 鲁听 黄保进 江志明 |
| 作者单位： | 贵州民族大学材料科学与工程学院;宁波华丰包装科技有限公司 |
| 摘 要： | 采用射频磁控溅射技术,以氧化锌(ZnO)为靶材,在PET塑料表面沉积制备了氧化锌薄膜包装材料,研究了氩气(Ar)流量对所制备的ZnO薄膜结构、形貌、沉积速率、透氧率以及透湿率的影响。实验结果表明,当氩气流量为40 sccm时,ZnO薄膜表面均匀且致密,其氧气透过率可以达到1.14 cc/(m~2.d),水蒸汽透过率为0.43 g/(m~2.d)。 |
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