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| 溶胶-凝胶法制备氧化钒薄膜的结构及特性研究 | |
| 作者单位： | ;1.电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室 |
| 摘 要： | 利用溶胶-凝胶法制备了氧化钒薄膜,在大气环境及400℃下、对产物进行不同时间的退火处理。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、高阻仪、紫外-可见分光光度计和傅里叶红外光谱仪,对薄膜的形貌、晶态、电学和光学特性等进行了系统的分析。结果表明,退火时间明显地影响溶胶-凝胶法制备氧化钒薄膜的化学结构及光电性能:退火时间过短,薄膜中有机成分不能完全分解、并且结晶度低;退火1h时,薄膜主要成分为V2O5和VO2,此时薄膜电阻低、但光吸收性弱;退火2h以上,薄膜中的主要成分为V2O5,此时薄膜电阻变大、但光吸收性有所加强。研究了退火时间对溶胶-凝胶制备氧化钒薄膜的化学结构及光电特性的影响,揭示了相关的微观机理。 |
| 关 键 词： | 氧化钒薄膜 溶胶-凝胶 退火 |
Study on structures and properties of vanadium oxide films prepared by Sol-Gel |
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| Keywords: | |