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大容秘容器真空氦质谱检漏技术研究
引用本文:
梁志刚,吴艳红,霍宏发,秦学军,马艳军.大容秘容器真空氦质谱检漏技术研究[J].中国科技信息,2009(14).
作者姓名:
梁志刚
吴艳红
霍宏发
秦学军
马艳军
作者单位:
1. 西北核技术研究所
2. 西安建筑科技大学理学院
摘 要:
分析了大客积容器真空检漏的一般工况及检漏系统灵敏度的影响因素,给出了实际漏率的确定方法.
关 键 词:
氮质谱检漏
容器
漏率
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