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| 浅析电子级多晶硅影响因素 | |
| 引用本文： | 王晓军,牛聪明,红星,李生生.浅析电子级多晶硅影响因素[J].内蒙古科技与经济,2013(13):103-104. |
| 作者姓名： | 王晓军 牛聪明 红星 李生生 |
| 作者单位： | 内蒙古神舟硅业有限责任公司 |
| 摘 要： | 针对如何提高改良西门子法多晶硅生产多晶硅产品质量的问题,从对多晶硅产品质量有影响的各个环节入手,总结了经验并阐述了自己的看法,与大家共同探讨。 |
| 关 键 词： | 多晶硅 电子级 质量 精镏 氢气 还原 后处理 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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