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| 一维直线光栅线位移传感器检测系统 | |
| 摘 要： | 本文介绍一种一维直线光栅线位移传感器检测系统。本系统的滑块导轨座与滚珠导轨座平行设置,第一夹持滑块和第二夹持滑块均设置在滑块导轨座上;第一、二夹持机构分别设置在第一、二夹持滑块上;第一、二夹持机构夹持住被检测直线光栅线位移传感器;滚珠导轨座上设置滚珠滑块,滚珠丝杠驱动滚珠滑块沿着滚珠丝杠的轴线方向运动;滚珠滑块上设有光栅读数头;反射镜设置在滚珠滑块的上表面;滚珠丝杠的一端连接电机,另一端设置在轴承座上;三光轴激光干涉仪设置在基台上,三光轴激光干涉仪的激光射出方向与滚珠丝杠的轴线平行,且能够垂直射到反射镜上。 |
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