| 用低相干光干涉测绘物体表面三维轮廓的立体分布 |
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| 引用本文： | 张晋鲁,张国梁.用低相干光干涉测绘物体表面三维轮廓的立体分布[J].伊犁师范学院学报,2006(3):45-47,73. |
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| 作者姓名： | 张晋鲁 张国梁 |
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| 作者单位： | 伊犁师范学院物理与电子信息学院 新疆伊宁835000 |
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| 摘 要： | 利用白光干涉对精密物体(如芯片、半导体、LCD等)进行表面轮廓立体分布的测绘,是国际上目前较为先进的技术.白光干涉测量术采用Michelson光路结构和宽频带光源,并且使用CCD作为接收探测装置.在用低相干度光源测绘物体表面三维立体分布的实验系统中,由于设计了新的算法(局部积分法)来计算光强包络面曲线峰值.因此与同类实验装置相比,其具有运算速度快(提高了近两倍)、抽样间隔大(为100nm)、精密度高(实验不确定度为5nm)、视野范围大(10mm×10mm)等特点.即使物面错综复杂,也能得到很好的测量结果.
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| 关 键 词： | 白光干涉 CCD 三维立体分布 |
| 文章编号： | 1009-1076（2006）03-0045-03 |
| 收稿时间： | 2006-04-10 |
| 修稿时间： | 2006年4月10日 |
On the Three Dimension Distributing with White Light Interferometer |
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| ZHANG Jin-lu,ZHANG Guo-liang.On the Three Dimension Distributing with White Light Interferometer[J].Journal of Ili Teachers' College,2006(3):45-47,73. |
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| Authors: | ZHANG Jin-lu ZHANG Guo-liang |
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| Abstract: | In this paper We measured the three dimension distributing of a narrow object with white light interferometer.In contrast to classical interferometer,It possess the characteristics of the high accurate degree and great visual.The result is satisfactory even if the surface of the object is rough. |
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| Keywords: | White interference CCD three dimension distributing |
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