| 温度对Mn掺杂ZnO薄膜结构的影响 |
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| 引用本文： | 介琼,李彤,张宇.温度对Mn掺杂ZnO薄膜结构的影响[J].天津工程师范学院学报,2013,23(3). |
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| 作者姓名： | 介琼 李彤 张宇 |
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| 作者单位： | 天津职业技术师范大学电子工程学院,天津,300222 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法在不同衬底温度下沉积了一系列ZnO和ZnO∶ Mn薄膜.结合X射线衍射谱和扫描电子显微镜,分析了不同温度条件下的ZnO和ZnO∶ Mn薄膜的结构特性.结果显示:ZnO和ZnO∶Mn薄膜均呈现出显著的(002)定向生长特征,与ZnO的(002)衍射峰相比,相应条件下生长的ZnO∶ Mn(002)衍射峰均向小角度偏移,这主要是由于大离子半径的Mn2+替代了Zn2+的结果.同时随着衬底温度的升高,薄膜形貌得到明显改善,晶粒尺寸呈现减小趋势.
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| 关 键 词： | ZnO Mn X射线衍射谱 稀磁半导体 |
Effect of temperature on structural propertie of Mn doped ZnO thin films |
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| JIE Qiong
,
LI Tong
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ZHANG Yu.Effect of temperature on structural propertie of Mn doped ZnO thin films[J].Journal of Tianji University of Technology and Education,2013,23(3). |
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| Authors: | JIE Qiong LI Tong ZHANG Yu |
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