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| 电化学腐蚀制备原子力显微镜探针 | |
| 引用本文： | 李英姿,李 进,钱建强,等.电化学腐蚀制备原子力显微镜探针[J].实验技术与管理,2014(3):31-35. |
| 作者姓名： | 李英姿 李 进 钱建强 等 |
| 作者单位： | ;1.北京航空航天大学物理科学与核能工程学院;2.北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室 |
| 摘 要： | 研究了实验室条件下采用电化学腐蚀方法制备原子力量微镜探针的工艺及实验参数对探针腐蚀精细程度的影响。实验设备虽然简单,但能制备出实用的探针。在制备过程中变量较多,可操作性强,使学生能深刻理解探针与样品表面相互作用过程,并对原子力显微镜的应用有初步的了解。 |
| 关 键 词： | 原子力显微镜 探针制备 电化学腐蚀 |
Preparation of probe for atomic force microscope based on electrochemical etching |
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