三氯氢硅中硼、磷含量检验方法研究 |
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引用本文: | 宗凤云,李琰,高炎,卢刚涛,安亚亚.三氯氢硅中硼、磷含量检验方法研究[J].内蒙古科技与经济,2012(21):83-84. |
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作者姓名: | 宗凤云 李琰 高炎 卢刚涛 安亚亚 |
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作者单位: | 1. 内蒙古神舟硅业有限责任公司 2. 内蒙古化工职业学院 3. 内蒙古乾坤金银精炼股份有限公司,内蒙古呼和浩特,010000 |
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摘 要: | 建立三氯氢硅中硼、磷含量电感耦合等离子体发射光谱检验方法。该方法中硼的标准样品加入回收率为94.40%~100.80%;磷的标准样品加入回收率为91.20%~93.60%。
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关 键 词: | 三氯氢硅 电感耦合等离子体发射光谱 硼、磷 检验方法 |
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