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三氯氢硅中硼、磷含量检验方法研究
引用本文:宗凤云,李琰,高炎,卢刚涛,安亚亚.三氯氢硅中硼、磷含量检验方法研究[J].内蒙古科技与经济,2012(21):83-84.
作者姓名:宗凤云  李琰  高炎  卢刚涛  安亚亚
作者单位:1. 内蒙古神舟硅业有限责任公司
2. 内蒙古化工职业学院
3. 内蒙古乾坤金银精炼股份有限公司,内蒙古呼和浩特,010000
摘    要:建立三氯氢硅中硼、磷含量电感耦合等离子体发射光谱检验方法。该方法中硼的标准样品加入回收率为94.40%~100.80%;磷的标准样品加入回收率为91.20%~93.60%。

关 键 词:三氯氢硅  电感耦合等离子体发射光谱  硼、磷  检验方法
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