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| 低温下生物衬底上制备半导体氧化物薄膜 | |
| 引用本文： | 敬天宇,李琦,阮颖杰,艾大鹏,王超.低温下生物衬底上制备半导体氧化物薄膜[J].黑龙江科技信息,2019(16). |
| 作者姓名： | 敬天宇 李琦 阮颖杰 艾大鹏 王超 |
| 作者单位： | 吉林建筑大学电气与计算机学院;大陆汽车电子(长春)有限公司 |
| 摘 要： | 半导体材料由于其优异的特性,近年来成为了材料科学与物理、化学、生物、电子信息技术等交叉学科研究的热点。本文研究了在生物衬底上制备半导体氧化物薄膜材料的工艺与技术,实现了低温下生物衬底上氧化物半导体薄膜材料的制备与研究。 |
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