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| 半导体光电子器件制造业MES的应用与发展 | |
| 引用本文： | 郭栓银,王继帅,李超.半导体光电子器件制造业MES的应用与发展[J].科技风,2013(7):107-108. |
| 作者姓名： | 郭栓银 王继帅 李超 |
| 作者单位： | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所,江苏苏州 215163 |
| 摘 要： | 对半导体光电子行业MES(Manufacturing Execution System)的应用现状做了总结,分析了现有系统的功能属性、模块分类及使用效果,归纳了目前系统的技术特点和存在的问题,并在此基础上指出了半导体光电子行业MES系统体系结构的发展方向,以供企业设计MES系统参考。 |
| 关 键 词： | 半导体光电子 制造业 MES |
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