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| 先进电子制造中的重要科学问题 | |
| 引用本文： | 雷源忠,雒建斌,丁汉,钟掘.先进电子制造中的重要科学问题[J].中国科学基金,2002,16(4):204-209. |
| 作者姓名： | 雷源忠 雒建斌 丁汉 钟掘 |
| 作者单位： | 1. 中南大学机电工程学院,长沙,410083 2. 清华大学摩擦学国家重点实验室,北京,100084 3. 上海交通大学机械工程学院,上海,200030 |
| 摘 要： | 电子信息产业是关系国家利益和安全的基础性和战略性产业。成为先
进电子制造（AEM）强国是我国21世纪发展的战略目标，实现这一目标的关键是必须能
自主地提供电子产业的AEM工艺、技术和装备。电子业的迅速发展，对制造装备的极限制造
能力提出了严峻的挑战。其主要技术特点有：高运动精度(亚微米至纳米级定位精度)、高加
速度(>15g)、高制造精度和高可靠性。提出面向下一代AEM新理论、新方法，造就一大批从
事该领域的高科技人才，为我国AEM产业拥有自主产权的新工艺、新装备、实现跨越式发展
提供技术基础是21世纪我国基础性研究面临的一项紧迫任务。本文论述了AEM领域的国内外
现状、提出了该领域存在的重要科学问题和将要实施的计划措施。 |
| 关 键 词： | 先进电子制造，计算机硬盘，芯片封装 |
IMPORTANT ACADEMIC PROBLEMS IN ADVANCED ELECTRONIC MANUFACTURING |
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