| 制备MEMS器件的微细加工技术:研究现状与展望 |
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| 引用本文： | 戴晓光.制备MEMS器件的微细加工技术:研究现状与展望[J].孝感职业技术学院学报,2006,9(3):94-98. |
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| 作者姓名： | 戴晓光 |
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| 作者单位： | 湖北职业技术学院机电工程系 湖北孝感432000 |
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| 摘 要： | 文章综述了用于制备MEMS器件的几种典型微细加工技术的工艺原理、特点以及研究现状,并展望了这些微细加工技术的发展前景。
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| 关 键 词： | 微机电系统 微细加工 器件 |
| 文章编号： | 1671-8178（2006）03-0094-05 |
| 收稿时间： | 2006-08-18 |
| 修稿时间： | 2006年8月18日 |
MEMS Devices Fabricated by Microfabrication Technology: Research Status and Prospect |
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| DAI Xiao-guang.MEMS Devices Fabricated by Microfabrication Technology: Research Status and Prospect[J].Journal of Xiaogan Vocational-Technical College,2006,9(3):94-98. |
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| Authors: | DAI Xiao-guang |
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| Institution: | Mechanical and Electrical Engineering Department, Hubei Vocational - Technical College, Xiaogan , Hubei 432000, China |
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| Abstract: | The principle of process,characteristic and research status on the several typical microfabrication techniques used to fabricate MEMS devices are given a review in this paper.It also looks ahead the prospect of the microfabrication techniques. |
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| Keywords: | MEMS microfabrication devices |
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