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| 超精密磨削微进给工件平台的研制 | |
| 引用本文： | 阎兵,田延岭,等.超精密磨削微进给工件平台的研制[J].天津职业技术师范学院学报,2002,12(1):1-5. |
| 作者姓名： | 阎兵 田延岭 |
| 作者单位： | [1]天津职业技术师范学院，天津300222 [2]天津大学机械工程学院，天津300072 |
| 摘 要： | 采用弹性铰链作为预紧机构，采用压电陶瓷作动器作为驱动机构，设计了一种超精密磨削辅助工件平台。具有结构简单、位移分辨率高、动态响应速度快等优点。中通过试验研究了其在开环和闭环控制下的静态和动态特性，结果表明，其中心部位静态刚度达到200N／μm，Z向的固有频率达到1289Hz。 |
| 关 键 词： | 超精密磨削 微进给工件平台 研制 压电陶瓷驱动器 静动态特性 弹性铰链 位移分辨率 开环 闭环 平台中心部件 |
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