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355nm紫外激光抛光工艺参数对蓝宝石表面粗糙度的影响
引用本文:黄加福,林红梅.355nm紫外激光抛光工艺参数对蓝宝石表面粗糙度的影响[J].漳州职业技术学院学报,2013(1):17-20,31.
作者姓名:黄加福  林红梅
作者单位:漳州职业技术学院机械与自动化工程系
摘    要:通过用波长为355nm的紫外激光对蓝宝石进行抛光,利用激光共聚焦扫描仪测量抛光后的表面粗糙度Ra,并结合抛光前后蓝宝石表面微观形貌特征观测,研究紫外激光脉冲能量、激光光束扫描速度、激光重复频率及激光光束入射角等工艺参数对蓝宝石表面粗糙度Ra的影响规律。

关 键 词:紫外激光  激光抛光  抛光  工艺参数  表面粗糙度

355nm laser polishing process parameters effect on sapphire surface roughness
HUANG Jia-fu,LIN Hong-mei.355nm laser polishing process parameters effect on sapphire surface roughness[J].Journal of Zhangzhou Technical Institute,2013(1):17-20,31.
Authors:HUANG Jia-fu  LIN Hong-mei
Institution:(Zhangzhou Institute of Technology,Fujian Zhangzhou,363000,China)
Abstract:
Keywords:
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