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| 任意横向掺杂半导体功率器件的虚拟仿真实验教学 | |
| 引用本文： | 李曼杨可萌郭宇锋顾世浦姚佳飞张珺张茂林.任意横向掺杂半导体功率器件的虚拟仿真实验教学[J].实验技术与管理,2022(4):104-110. |
| 作者姓名： | 李曼杨可萌郭宇锋顾世浦姚佳飞张珺张茂林 |
| 作者单位： | 1.南京邮电大学集成电路科学与工程学院210023; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(61874059)；江苏省在线开放虚拟仿真实验教学项目(SYS2017SXF03)；南京邮电大学实验室工作研究课题(2021XSJ02)。 |
| 摘 要： | 为了突破传统理论、数值模拟和实验教学的局限性,进一步提升教学质量,培养专业领域创新人才,建设了任意横向掺杂半导体功率器件的虚拟仿真实验教学资源.基于自主研发的任意横向掺杂设计工具miniVLD,对半导体工艺仿真软件、器件模拟软件和版图设计软件进行二次开发,包含掩模板设计、虚拟制造、虚拟测试、版图设计4部分.该虚拟仿真实... |
| 关 键 词： | 任意横向掺杂 半导体功率器件 掩模版设计 虚拟制造 虚拟测试 版图设计 |
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